2、正确地选择sz真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围,如:扩散泵为10-3~10-7mmhg,在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化,其稳定的工作压强范围为510-4~510-6mmhg。因此,泵的工作点应该选在这个范围之内,而不能让它在10-8mmhg下长期工作。又如钛升华泵能够在10-2mmhg下工作,但其工作压强应小于110-5mmhg为好。
3、sz真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
4、正确地组合sz真空泵。由于sz真空泵有选择性抽气,因此,有时选用一种泵不能满足抽气请求,需求几种泵组合起来,相互补充才干满足抽气请求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空安装得到较好的真空度。另外,有的sz真空泵不能在大气压下工作,需求预真空;有的sz真空泵出口压强低于大气压,需求前级泵,故都需求把泵组合起来运用。
5、真空设备对油污染的请求。若设备严厉请求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。假如请求不严厉,能够选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能到达清洁真空请求。
6、理解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择sz真空泵时,需求晓得气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。假如气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该思索在泵的进气口管路上装置辅助设备,如冷凝器、除尘器等。
7、sz真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。假如环境不允许有污染,能够选无油sz真空泵,或者把油蒸气排到室外。
8、sz真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
9、sz真空泵的价钱、运转及维修费用。